三坐標(biāo)測(cè)量儀就是在三個(gè)相互垂直的方向上有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、測(cè)長元件、數(shù)顯裝置，有一個(gè)能夠放置工件的工作臺(tái)(大型和巨型不一定有)，測(cè)頭可以以手動(dòng)或自動(dòng)方式輕快地移動(dòng)到被測(cè)點(diǎn)上，由讀數(shù)設(shè)備和數(shù)顯裝置把被測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值顯示出來的一種測(cè)量設(shè)備。三坐標(biāo)測(cè)量儀是用來測(cè)量工件物體的尺寸包括尺寸之間的關(guān)系的，如長度，對(duì)稱度，直徑，圓柱度等尺寸和形位公差。
    激光干涉儀，是以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長度測(cè)量。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，可作為精 密工具機(jī)或測(cè)量儀器的校正工作。但是測(cè)量工件的儀器須有移動(dòng)軸或者外部有移動(dòng)軸，若用激光干涉儀測(cè)量工件的長度就測(cè)不了。
    從上可以看出三坐標(biāo)測(cè)量儀和激光干涉儀兩者還是有本質(zhì)區(qū)別的。