氣浮塊與導(dǎo)軌的間隙一般在幾個微米到幾十個微米之間。滑塊對導(dǎo)軌平面度要求是3微米以內(nèi)，超過這個公差的話，滑塊快速運(yùn)動時會有異響。運(yùn)動速度過快會導(dǎo)致三坐標(biāo)氣浮塊瞬間鎖死，后果很嚴(yán)重，會導(dǎo)致大面積大理石平面受損。說道大理石受損，一般大理石價(jià)格在幾萬左右，如果受損后，直接更換大理石平臺是不現(xiàn)實(shí)的，價(jià)格太貴，一般采取措施是研磨，通過研磨，我們可以完全恢復(fù)大理石平臺精度，大理石平臺一般是加工出形狀后，通過磨床半精磨，然后通過人工研磨達(dá)到技7術(shù)要求的。人工研磨是通過大理石與大理石互相摩擦，在研磨表面圖上研磨粉，一點(diǎn)一點(diǎn)研磨出來的，精度能確定到微米以內(nèi)。研磨粉分粗細(xì)兩種，

　　使用時用濕抹布黏上研磨粉，然后擦在大理石表面，然后再用大理石研磨塊來回摩擦。