三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量精度要求很高，且其部件繁多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，影響測(cè)量誤差因素多。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)這種多軸機(jī)器主要有以下四種的靜態(tài)誤差源：

（1）由于結(jié)構(gòu)件（如導(dǎo)軌和測(cè)量系統(tǒng)）的有限精度造成的幾何誤差。這些誤差由這些結(jié)構(gòu)件的制造精度和安裝維護(hù)中的調(diào)整精度來決定。

（2）與三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的機(jī)構(gòu)件的有限剛度有關(guān)的誤差。主要由移動(dòng)部件的重量引起。這些誤差由結(jié)構(gòu)件的剛度、重量和它們的配置來決定。

（3）熱誤差，例如單一溫度變化和溫度梯度引起的導(dǎo)軌的膨脹和彎曲。這些誤差由三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的機(jī)器結(jié)構(gòu)、材料特性和溫度分布決定，并受外熱源（如環(huán)境溫度）和內(nèi)熱源（如驅(qū)動(dòng)裝置）的影響。

（4）測(cè)頭與附件誤差，主要包括由于換測(cè)頭、加接長桿、加接其它附件引起的測(cè)頭測(cè)端半徑的變化；測(cè)頭在不同方向和位置觸測(cè)時(shí)的各向異性誤差；分度臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)帶來的誤差等。